隸屬于無錫先導集團的江蘇微導納米裝備科技有限公司，致力于為國內外的高科技行業提供最新最可靠的生產設備和解決方案。其中專門為新型高效太陽能電池的表面鈍化所開發的原子層沉積(ALD)技術，在不到一年的時間內就完成了從技術評估、設計定案、機械和工藝驗證，直到完成最終的客戶應用評估等工作，并于今年2月份在客戶端獲得了超21%的平均轉化效率。另外，專門為解決金剛線多晶制絨難問題所開發的反應離子刻蝕(RIE)技術，于今年3月份在客戶現場實現第一片實驗片反射率做到10%以下，首次金剛線多晶2800片實驗平均效率做到19%以上，最高19.41%的好成績。

在N型雙面電池的鈍化工藝上耕耘了近一年時間以后，江蘇微導的原子層沉積設備終于完善了批量生產的各項指標，進入到了大規模量產的階段。截至八月, 微導已開始交付第一批10臺以上訂單為客戶進行生產。同時，微導的雙面鈍化技術也引起了PERC市場的強烈關注，已有多家國內知名的光伏企業在使用微導的原子層沉積設備嘗試雙面鈍化的工藝路線，并在很短的時間內就在PERC電池上達到了668mV的平均開路電壓和高于21.5%的平均光電轉換效率。目前，PERC電池雙面氧化鋁鈍化的工藝路線已經完全走通，相信在接下來的幾個月內就能達到批量的生產規模，為高效電池的生產注入一份新的動力。

使用江蘇微導的原子層沉積設備制備的氧化鋁薄膜有著異于尋常的鈍化特性，在不同的電池結構上都達到了遠低于市場同類鈍化設備薄膜厚度的表面鈍化效果。在4納米的厚度上依舊可以保持6x1012cm-2的負電荷密度，在1.5-4納米的范圍內都可以獲得664mV以上的開路電壓，充分顯示了原子層沉積技術的優勢，減少了三甲基鋁源的耗量，為客戶節省了大量成本。江蘇微導也在機械設計和工藝調試上狠下功夫，達到了單面鍍膜實際產能超過6000片/小時和雙面鍍膜產能4000片/小時的目標，而且與主設備匹配的自動化上下料系統可以在單面鍍膜和雙面鍍膜兩種模式間自由轉換，真正滿足不同客戶的需求。

據悉，江蘇微導目前已著手開發下一代產品，力求達到單位面積產能第一的目標。同時，在原子層沉積技術上將攜手新南威爾士大學一起開發選擇性接觸(carrier selective contact)材料用于新一代的電池技術。微導自主知識產權的原子層沉積技術顛覆了沉積速度慢的傳統觀念，實現了太陽能晶硅電池的大批量生產。這不僅僅超越了絕大多數晶硅電池工藝設備的產能瓶頸，也是原子層沉積技術實現真正意義上的大批量生產的重大突破，達到國際領先水平。