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絲印燒結異常處理

   2020-05-12 絲印燒結異常處理48170
核心提示:資料,僅供參考。良好的印刷質量,能夠減少金屬電極與硅片間的接觸電阻,影響電池的填充因子、短路電流和光電轉換效率,斷柵、印
資料,僅供參考。

良好的印刷質量,能夠減少金屬電極與硅片間的接觸電阻,影響電池的填充因子、短路電流和光電轉換效率,斷柵、印刷不均勻都會導致線性電阻增大,降低轉換效率。

◎基本參數影響

1.1印刷參數影響

a)Snap-off:絲網間距越大印刷厚度越厚,反之約薄;

b)Pressure:印刷壓力越大印刷厚度越薄,反之越厚;

c)Down-stop:印刷時刮刀位置越大厚度越薄,反之越厚;

d)Printingspeed:印刷速度越快厚度越薄,反之越厚。

1.2燒結參數影響

a)開路電壓Voc的損失主要在體內復合,所以減少各種復合中心(硅片各類缺陷、暗紋、沾污等)是提高Voc的有效方法;

b)影響短路電流Isc的因素包括:

1)絨面減反射效果;

2)擴散PN結結構;

3)后清洗去邊結效果;

4)PECVD鍍膜減反射效果;

5)印刷柵線的遮光面積;

6)沾污。

c)串聯電阻Rs包括:P型硅片基區體電阻、擴散層電阻、正面電極和背面鋁金屬材料電阻、正面和背面形成的歐姆接觸電阻;

d)并聯電阻Rsh主要受材料缺陷、各種雜質污染和后清洗去除邊緣PN結效果影響;

e)填充因子FF是作為最佳工作點的綜合體現,與入射光譜光強、短路電流、開路電壓、串并聯電阻密切相關。背電極印刷偏移、斷柵一定程度上也會導致FF降低。

◎常見異常問題處理

2.1印刷常見問題處理

2.1.1粘片

a)網版高度太低或網版形變量不夠,調節方法:抬高網版高度、加大壓力;

b)如果抬高網版和改變壓力沒有效果,可將印刷頭頂部限位螺絲松動,將旋鈕逆時針旋轉,然后重新調節壓力和網版高度。

2.1.2印刷不全/虛印

a)印刷不全通常表現為網版高度太高,此時適當降低網版高度;

b)適當降低回料板高度,切忌調節幅度過大導致網版破損;

c)虛印是印刷不全的一種形式,虛印的產生主要是漿料滲透性不好或者網版局部堵塞,可適當的增加印刷壓力和降低印刷速度;

d)印刷不良品的處理:背電極和背電場輕微印刷不全時可用碎硅片沾取漿料補全未印全位置,然后輕壓平整;印刷不全面積較大時用廢硅片盡量鏟掉背面所印刷漿料,重新印刷;正電極印刷不全較嚴重時直接重新印刷。

2.1.3漏漿

a)Item1和Item2漏漿時可以用膠帶補全網孔,嚴重直接更換新網版;

b)Item3印刷漏漿時直接更換網版。

2.1.4斷柵

a)一般輕微斷柵使用無塵布擦拭網版即可恢復正常;

b)漿料的滲透性導致虛印而表現的斷柵可延長攪拌時間、改變漿料稀釋度,印刷時可先使用松油醇擦拭網版再用無塵布將虛印點上下網版對擦;

c)網版太高也是斷柵的一個方面,情況類似印刷不全。

2.1.5毛邊

所謂毛邊是指邊緣柵線印刷不平滑,呈毛絨狀,毛絨處為多余漿料印刷。

a)調節方法:抬高網版,而且調動幅度需求較大,輕微調動效果不明顯;

b)網版過低也會造成毛邊,區別在于毛絨狀偏向的方向,通常偏向電池片內部的可抬高網版,偏向電池片外部邊緣的可適當降低網版高度;

2.1.6柵線寬度不合格

a)所有臺面均表現為柵線過寬時抬高網版、降低刮刀高度;柵線過細則調節方向相反;

b)刮條局部區域被磨損更換刮條,此情況在調節參數和設備無效的情況下進行;

c)回料板位置太低也會導致柵線過寬,原因是回料板在回料過程中因為壓力較大又印刷了一次,此情況類似印刷模式中的“doublesqueegee”;

d)如果幾個臺面的柵線寬度粗細不一致或者同一電池片的不同區域粗細不一致可查看臺面是否平整以及網版的形變量是否發生變化。

2.1.7背場印刷質量

背場印刷存在的幾個問題:厚度不均勻,邊緣印刷偏厚;

a)此處厚度不均勻表現在背電極附近印刷濕重較大,目前主要的手段是保持印刷均勻性,另外設備電極的穩定也是重要的方面即保證印刷過程中印刷臺不抖動;

b)邊緣印刷偏厚的調節方法包括抬高網版(降低刮刀高度和加大壓力有相同效果)和更換刮條。

2.1.8印刷偏移

開始印刷時需要使用游標卡尺來確定是否偏移以及偏移方向和偏移量,根據測量情況調節X、Y、T補償。

印刷過程中可在背電場印刷和燒結后觀察到背電極是否偏移。目前使用的背電極設計包括了電極兩邊對稱的鋸齒區域,如果發生偏移則鋸齒區域不再對稱,呈現一邊面積大一邊面積小的現象,而背電極為銀白色,與背場顏色區分較明顯,可背光仔細觀察。

2.1.9臺面紙沾污

印刷過程中的漏漿、碎片等導致臺面紙潔凈度下降,臺面紙沾污必須及時更換,防止對電池片造成污染。

2.1.10隱裂

一旦從燒結爐出來發現隱裂則立即停止印刷段所有印刷,從item3開始向前逐步排查臺面、網版、真空等是否異常。

a)隱裂通常為臺面紙不平整或者有碎片、顆粒等,所以要保持臺面紙的平整以及印刷機臺的清潔;

b)臺面真空不足或不穩定引起的吸力不均衡;

c)設備長時間的運行導致頂桿的升降器松動或者傾斜。

2.1.11網版印和刮條印

判斷網版印與刮條印的主要方法是看印跡圖形的形狀。圖形為直線則大多為刮條印需要更換刮條;圖形為彎曲線或者不規則區域為網版印,情形嚴重時及時更換網版。

一、堵網:

1、車間溫度、濕度與漿料性質原因:若溫度高、相對濕度低,漿料揮發溶劑就很快揮發掉,漿料粘度變高,從而堵網。注意:停止時間過長,會產生堵網,時間越長越嚴重。其次,環境溫度低,漿料流動性差也容易堵網,所以嚴格控制車間溫度與濕度;

2、網版:用松油醇擦干凈并干燥后方能使用。若放置時間過久不及時印刷,在保存過程中就會粘附塵土;

3、印刷壓力:印刷壓力過大,會使刮條彎曲,刮條與網版和基板不是線接觸,而成面接觸,每次印刷都不能將漿料刮干凈而留下殘余漿料,時間長了就會堵網;

4、印刷間隙不合適:太小也容易堵網;

5、漿料原因:漿料顆粒大,要確保充足的攪拌時間

二、翹曲:

1、硅片太薄:控制原始硅片厚度;

2、印刷鋁漿太厚:控制鋁漿增重量;

3、燒結溫度過高:調整燒結爐4、5、6、7區溫度;

4、燒結爐冷卻區冷卻效果不好:查看風扇狀況、進出水溫度壓力等

三、鋁包:

1、燒結溫度太高:調整燒結爐4、5、6、7區溫度;

2、印刷鋁漿太薄:增大鋁漿的印刷量;

3、使用前漿料攪拌不充分:攪拌時間必須達到規定時間;

4、鋁漿印刷后烘干時間不夠:增加烘干時間或提高烘干溫度;

5、燒結排風太小:增大燒結爐排風;

6、燒結爐冷卻區冷卻區冷卻效果不好:查看風扇狀況、進出水溫度壓力等;

四、鋁珠:

1、印刷過厚:降低印刷厚度,調整印刷參數—提高壓力,減低速度以及絲網間距;

2、燒結熱量過多:在不影響電性能的情況下,降低燒結溫度或提高燒結帶速;

五、鋁刺:

1、背場印刷表面不均勻:檢查刮條的平整度;

2、燒結網帶不潔凈:清洗網帶或對忘帶進行打磨;

3、燒結網帶抖動嚴重:由設備人員來調整網帶;

4、燒結溫度過高:不影響電性能的情況下降低燒結溫度;

六、虛印:

1、網版堵塞:用松油醇先擦一遍,再用干無塵布擦干;

2、印刷刮刀條不平:更換刮刀條;

3、網版不合格:更換網版;

4、車間溫度與濕度不合適:溫度控制在22±2℃,濕度控制在50±3%;

5、印刷參數不合格:調整印刷壓力、印刷間隙與印刷速度;

6、工作臺板不平,磨損嚴重:檢查更換工作臺板;

7、印刷機導軌不平:設備重新調整導軌;

七、粗線:

1、原硅片為線痕片:控制線痕原硅片;

2、網版使用次數太多,張力不夠:更換新網版;

3、網版參數不合格:核對該批網版參數,更換新網版;

4、漿料太稠,攪拌時間太短:嚴格執行漿料攪拌規定;

5、印刷參數不合適:調整印刷機參數;

八、真空錯誤

1、原硅片問題:硅片厚度不均勻;

2、粘片:檢查網版是否粘片;

3、設備傳送錯誤:找設備人員調整;

九、對位錯誤:

1、網版不干凈:用無塵布蘸酒精擦拭網版四個基準點;

2、原硅片邊緣不整:拿出不規整的原硅片;

3、設備問題:找設備人員調整機器;

十、連續碎片:

1、臺面不平整:檢查印刷臺面是否不平整或有碎片;

2、網版:檢查網版是否粘有碎片,擦拭干凈網版;

3、刮條不平:檢查刮條是否平整,更換新刮條;

4、印刷壓力過大:減小印刷壓力;

5、隱裂:檢查前段工序是否有上述情況;

十一、塊狀或粉末狀脫落:

1、烘干溫度過高:降低起始烘干溫度或降低整體烘干溫度,縮短烘干時間;

十二、燒結爐區不穩定:

將溫區停止加熱,降低200度后重新啟動加熱,多次重復至穩定為止;

十三、電性能參數:

1、開路電壓

受光照的太陽電池處于開路狀態,光生載流子只能積累與pn結兩側產生光生電動勢,這是在太陽電池兩端測得的電勢差叫作開路電壓,用符號Voc表示。

擴散均勻性的好壞影響著開路電壓;溫度也影響著開路電壓,一般每降低1℃,開壓升高約2mV(環境溫度保持在23-27℃)。

2、短路電流

把太陽電池從外部短路,測得的最大電流,稱為短路電流,用符號Isc表示。實際器件中,由于存在著體內復合和表面復合,所得的光生電流小于理想值。此外,短路電流還與材料性能、器件制備工藝密切相關。

短路電流的主要影響因素是擴散和絲印燒結:

(1)一般來講,擴散的方阻低,燒結溫度低的話,短路電流會越小;

(2)印刷柵線不好也影響短路電流,印刷的柵線越粗短路電流越低。

3、串聯電阻

影響串阻的主要因素有:擴散、絲印、燒結、測試

如果串阻偏大,可能是擴散的方阻大,在絲印方面可能是漿料被污染;分選機的探針磨損也會有影響。至于燒結溫度,還要參考漏電流的大小:

(1)若串阻高,漏電流大,可能是燒結爐的溫度高;

(2)若串阻高,漏電流低,則可能是燒結爐的溫度低。

4、漏電流

漏電流的影響因素主要是清洗、刻蝕、擴散、絲印燒結、測試分選。如果漏電流大可能是下列情況:

(1)絨面大,片子本身質量不好;

(2)過刻和未刻都會導致漏電大;

(3)電池片正面被污染,邊緣漏漿;

(4)燒結溫度過高;

(5)測試分選時被擊穿。

5、填充因子

太陽電池的另一個重要參數是填充因子FF,它是最大輸出功率與開路電壓和短路電流乘積之比:

FF是衡量太陽電池輸出特性的重要指標,太陽電池的工作電流和電壓隨著負載電阻的變化而變化,將不同阻值所對應的工作電壓和電流值作成曲線就得到太陽電池的伏安特性曲線,如圖所示

FF是代表太陽電池在帶最佳負載時,能輸出的最大功率的特性,其值越大表示太陽電池的輸出功率越大,FF的值始終小于1。影響FF的因素很多,串聯電阻,并聯電阻對FF有直接影響。一般的規律是:串阻越大,FF越小;并阻越小,FF越小。光照對填充因子也有影響。在其他因數基本相同的情況下,在一定范圍內隨著光強(E)的減小,填充因子相應增加。

2.2燒結常見問題處理

2.2.1彎曲度過大

造成彎曲度過大的幾個因素:

a)來料片源太薄,可適當降低背電場的印刷濕重;

b)濕重(印刷量)過大:降低背電場的印刷濕重;

c)溫度過高:降低燒結爐4-6區背場燒結溫度,效果不明顯時可降低8、9區溫度,但要防止對效率造成影響;

d)印刷厚度不均勻。

2.2.2燒結爐報警

燒結爐因履帶帶速或者溫度波動較大(超過設置值±10℃)時報警,立即停止放片,及時消除報警,然后回到主界面升溫。

報警的解決步驟:

a)在未登錄的監控界面右上角消除報警器信號;

b)登陸到監控界面,在界面選擇AlarmStatus進入報警界面消除報警;

c)Exit返回監控界面點擊SystemStatus調節中Heater一行的Disable鍵進行升溫調節。

2.2.3Uoc、Isc偏低

a)Voc、Isc偏低,Rs、FF正常,考慮來料異常;

b)查看生產流程單確認擴散方塊電阻和少子壽命無異常;

c)漿料污染會導致Isc偏低,Voc變化不大,同時FF會降低,Rsh會很小。

2.2.4Rs與Rsh的異常關系

a)Rs小,Rsh大,正常現象;

b)Rs偏大,Rsh正常,升高溫度;

c)Rs正常,Rsh偏小,漏電嚴重;

d)Rs偏大,Rsh偏小,考慮漿料是否污染或者燒穿。

2.2.5Rs偏高、FF偏低

a)燒結溫度不足,可以適當的升高燒結溫度;

b)烘干溫度過高,可適當的降低烘干溫度;

c)測試臺探針壓片不準、接觸不好或者探針使用時間過久需更換。

2.2.6Isc下降、Rs減小、Ncell下降

此現象最常見在網版的使用壽命到上限或者網版的張力下降;主要原因是柵線的寬度增大導致遮光面積的增大Isc下降,橫向電阻的減小Rs減小,導致效率有一定的降低。

2.2.7背場燒結常見問題

a)背場顏色

一般鋁背場燒結后呈龜裂狀,顏色的灰色(或青色);背場顏色發白或者無龜裂狀很有可能未燒結充分;背場呈焦黃色有可能燒過。

b)鋁包

鋁包調節根據鋁包的數目、大小以及位置來判斷。數目在1-3個,位置固定,形狀呈凸起點狀可查看背電場鋁漿印刷是否存在結點;鋁包數目較多、位置不固定時多為溫度過高或者過低造成,判斷溫度過高還是過低可根據Rs以及FF來參照,最準確可靠的是使用拉溫儀確定當前溫度高低。另外,熱排風和冷卻水的調節,烘箱的烘干溫度也對鋁包調節有一定效果。

c)鋁刺

鋁刺的產生主要有溫度和履帶兩個影響因素。履帶造成的鋁刺大多在背場燒結的履帶印上,反光觀察可以看到,而且形狀呈狹長的刀刃狀;溫度造成的鋁包和鋁刺差別不大,相比之下鋁刺多為鋁包的破裂形式,可嘗試降溫調節。

d)漏電大

造成反響漏電Irev2較大的幾個方面:

1)來料片源雜質或者缺陷多,測試EL可看到圖像上黑斑區域較多或者圖像整體發暗;

2)邊緣刻蝕不足,在后清洗換液前后以及維護后剛生產時需要關注;

3)漿料污染,此種情況下Rsh會變得很小,Isc和FF也降低很明顯;

4)印刷邊緣漏漿,此情況較少,屬于印刷質量監控范圍內應及時發現和糾正的問題;

5)漏電變化呈一個數量級,表現為C10X時觀察柵線上有無擊穿現象,導致擊穿的因素包括金屬、油性物質的沾污,探針壓碎擊穿,隱裂等,具體情況需仔細觀察并測試EL輔助判斷。

2.3絲印工序常見問題一般解決方法

2.3.1差異性排查

現象描述:測試臺線間效率差異大于0.08%,或線內差異大于0.03%;或絲印各線測試效率均較低時,應立即啟動工藝排查機制。

解決方法:當發生差異性問題時,應立即向品管和設備人員反映。發生線間差異時,應對比各線差異性電性能數值,找出影響效率的最主要的參數。Voc較低時可調節電壓補償或者重新校準標片;Isc較低時可重新校準標片;Rs較大和FF較低時可進行測試臺探針排查,FF有時會由于IV曲線存在毛刺現象而偏大或偏低;Rsh較低時可對測試臺進行清潔。發生線內差異時,可查看差異性電池片具體數據,觀察是否有個別電池片效率測試較高或較低,然后對差異性電池片進行重新測量。若重新測量后差異性問題仍然存在,可檢查測試臺上下探針是否松動或者有下掉現象,通知設備人員進行探針復位或探針測試位置調整等相關工作。當發生絲印各線測試效率均較低時,可檢查標片是否存在沾污或崩邊,觀察標片校準人員的校準手法是否存在問題。

2.3.2主柵線脫落

現象描述:正面電極經燒結后出現主柵線兩頭翹起現象。

解決方法:主柵線脫落的影響因素主要是烘干溫度過高或者電極印刷厚度太大。烘干溫度過高導致漿料內對電極起粘附作用的無機物或者玻璃氧化物提前被揮發,在燒結時電極翹曲,所以降低前三區的烘干溫度是調節的方向。另外增加正面電極印刷壓力(2至4N)、降低網版高度可以減小印刷厚度,有效解決主柵線脫落問題。主柵線脫落一般在印刷第三道剛更換網版后或者進行有關印刷厚度增加的參數調整后發生,所以印刷第三道更換網版后務必要進行首件檢查(不得少于5片電池片)正常后方可進行批量生產。工藝人員在生產過程中調整參數時也務必要進行跟蹤觀察,參數調整后確認印刷質量無誤時方可離開。主柵線脫落現象一般常見于PV159漿料。

2.3.3漿料污染

現象描述:漿料污染是指印刷第三道Ag漿受到污染,尤其是受到Al漿污染后,電池各項電性能參數連續發生異常,主要表現在Isc下降明顯,Rsh突然降低(約在60ohm左右),伴隨著Rs、Irev2明顯增大,Ncell較低。

解決方法:懷疑漿料污染時應立即通知生產部停止進行第三道印刷并立即啟動工藝排查機制。確認漿料是否污染的有效方法是進行兩條生產線電池片的交叉對比進行驗證。例如懷疑1#第三道發生漿料污染,可將1#正在生產的還未印刷正面電極的電池片5至10片拿于2#進行印刷,印刷后拿回1#進行燒結和測試,觀察各項電性能參數是否正常。若電性能正常,則基本可以確定1#已發生漿料污染,此時應立即通知生產部更換網版、漿料、刮條,認真清洗刮刀、回料刀等與漿料密切接觸的物件。新網版安裝前需認真進行第三道印刷臺的工藝衛生,保證漿料污染徹底解決。生產剛恢復時應密切關注電池片電性能參數變化情況,懷疑已被污染的漿料需貼上標簽并放在指定位置防止生產人員勿領,事后應向相關領導和絲印工藝提交漿料污染事故報告。漿料污染一般發生在交接班時或操作人員缺少時,漿料攪拌不當、操作人員錯誤操作、刮條刮刀混用等都是可能造成漿料污染的原因。

2.3.4低效率排查

現象描述:當發生以下情況之一時,工藝人員需立即啟動工藝排查機制:(根據實際產線設置相關數值)

(1)高阻密柵線單批效率低于xx時,需要提交排查報告;

(2)高阻密柵線平均效率低于xx時,需要提交排查報告;

(3)高阻密柵線單批效率低于xx時;

(4)高阻密柵線平均效率低于xx時;

(5)電性能參數Voc連續多批低于0.610V時;

(6)電性能參數FF連續多批低于77.50%時;

(7)電性能參數Rsh連續多批低于100ohm時;

(8)電性能參數Irev2連續多批高于0.3A時;

(9)同批電池片電性能參數Voc或Isc有分層現象時;

(10)同批電池片電性能參數Rs(或者FF)持續增加(或者持續降低)時;

(11)同批電池片電性能參數Rsh、Irev2有明顯惡化趨勢時。

解決方法:

一般方法:解決以上問題的一般方法叫逆向排查法,這是絲網印刷進行問題排查的最普遍的一種方法。例如絲印1#出現以上問題之一時,若2#各項電池片電性能參數正常,可將1#和2#進行對比進行排查,排查按照從后到前的順序逆向排查,即先排查這兩條線測試臺是否有測試差異,再排查燒結爐,之后是item3排查,然后item2排查,最后item1排查。當排查到某一段時發現兩線差異明顯,電性能異常問題已經發現,此時排查結束,針對出現問題的這一段開展問題解決措施。

(1)若發現測試臺有問題,可檢查測試臺探針、進行測試臺衛生清潔、重新校準標片等措施進行解決;

(2)若發現燒結爐有問題,可通過拉溫對比線間溫度差異,查看燒結爐溫度是否穩定;

(3)若發現item3有問題,可檢查濕重是否正常,網版線寬拓展情況,印刷質量情況、漿料是否異常等;

(4)若發現item2有問題,可檢查濕重是否正常,印刷是否良好,有無偏移,印刷是否存在高低不平等;

(5)若發現item1有問題,可檢查濕重是否正常,邊緣印刷是否良好,有無偏移等。

測重法:由于逆向排查法需要時間較長,調節效果無法立即得知,對生產的影響較大,因此工藝人員可根據實際情況開展測重排查法。

(1)Voc較低,可檢查item2濕重是否正常,測試溫度是否較高,EL測試暗紋是否明顯等方法快速解決問題;

(2)Isc較低,可查看擴散方塊電阻不均勻性是否較大,少子壽命是否較低,檢查正面柵線線寬拓展是否較大,item3濕重是否正常,item3印刷質量是否良好,EL測試暗紋是否明顯,電池表面有無沾污,各道臺面紙有無沾污,工藝衛生是否達標;

(3)Rs較大或者FF較低時,可著重于燒結爐排查,通過拉溫對比線間差異,一般而言,Rs較大時可升高燒結區溫度或降低烘干區溫度,FF較低時可升高八、九區溫度;

(4)Rsh較低時可適當降低燒結爐溫度;

(5)Irev2較大時,可查看各道印刷是否有漏漿情況,電池傳輸步進梁上是否有漿料殘留,電池刻蝕線是否清楚,燒結爐溫度是否較高,EL測試暗紋是否較多等方面。

(6)如果上述方式排查后電性能參數仍無明顯好轉變化趨勢時,需使用逆向排查法進行排查。

 
 
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